這是一款通用型的落地式微波等離子清洗機,適合用規(guī)?;a(chǎn)應(yīng)用。支持各種substrate, leadframe或者晶圓封裝前的清洗應(yīng)用,一般應(yīng)用于wire bonding, molding, underfill,soldering等工藝之前;也可以用于芯片堆疊前/晶圓表面活化。
-封裝清洗(PCB,LF,Module,SiP etc)
-晶圓清洗(Max.300*400mm)
-晶圓級封裝解決方案
-微流控芯片PDMS綁定
-表面活化/親水性處理
-氧化物/有機物去除