◆ ?7 寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，自動控制監測工藝參數狀態，20 個配方程序，工藝數據可存儲追溯。
◆ ?PLC 控制整個清洗過程，手動、自動兩種工作模式。
◆ ?CIF等離子清洗機F系列用美國德威爾（Dwyer）氣體浮子流量計或質量流量計 ?(CPC-FM)，可輸入氧氣、氬氣、氮氣、氫氣或混合氣等氣體，氣體控制精準。
◆ ?氣體返填吹掃，HEPA 高效過濾，防止二次污染。
◆ ?316 不銹鋼、石英真空艙可選擇，全真空管路系統采用316 不銹鋼材質，耐腐蝕無污染。
◆ ?采用 60 度傾角操作面板設計，符合人體功能學，操作方 便，界面友好。
◆ ?上控制下艙體結構設計，結構緊湊，占地空間小。
◆ ?內凹式前面板設計，有效保護流量計和艙門不易損壞。
◆ ?CIF等離子清洗機F系列處理快速高效均勻，無污染，工藝重復性好。
◆ ?樣品處理溫度低，無熱損傷和熱氧化。
◆ ?安全保護，艙門打開，自動關閉電源。
| 型號 | CPC-F | CPC-Fplus | CPC-FM | CPC-FMplus |
| 射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz | 40KHz | 13.56MHz |
| 射頻功率 | 0-600W | 0-150W | 0-600W | 0-150W |
| 匹配器 | 自動匹配器 | 自動匹配器 | ||
| 激發方式 | 電容式或電感耦合（ICP） | 電容式或電感耦合（ICP） | ||
| 氣體控制 | 雙浮子流量計 | 單路?MFC（可選兩路） | ||
| 艙體尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm | ||
| 艙體材質 | 不銹鋼或石英玻璃 | 不銹鋼或石英玻璃 | ||
| 艙體容積 | 3.8L-5L | 3.8L-5L | ||
| 有效處理尺寸 | L200xW155mm | L200xW155mm | ||
| 時間設定 | 9999 秒 | 9999 秒 | ||
| 真空泵 | 抽速?4m3/h | 抽速?4m3/h | ||
| 氣體穩定時間 | 1 分鐘 | 1 分鐘 | ||
| 真空度 | 100pa?以內 | 100pa?以內 | ||
| 電??源 | AC220V 50/60Hz 766/316W | AC220V 50/60Hz ?752/302W | ||
| 產品尺寸 | L440xW410xH455mm | L440xW410xH455mm | ||
| 包裝尺寸 | L560xW560xH685mm | L560xW560xH685mm | ||
| 整機重量 | 32kg | 32kg | ||
