CIF 掃描電鏡（SEM）等離子清洗機采用遠程等離子清洗源 設計，清洗快速、高效、低轟擊損傷，掃描電鏡等離子清洗機主要用于 SEM 或 FIB 等腔 體內(nèi)碳氫化合物的清洗。
◆ ?遠程離子清洗源
◆??掃描電鏡等離子清洗機清洗快速、高效
◆ ?低轟擊損傷
| 產(chǎn)品型號 | CIF–SEM |
| 法蘭接口 | KF40（CF40） |
| 工作氣壓 | 0.3-3Pa |
| 等離子電源 | 13.56MHz 射頻電源，射頻功率 5-150W 可調(diào) |
| 遠程等離子源，自動匹配器 | |
| 氣體控制 | 標配單路質(zhì)量流量計（MFC）可選雙路。0-500sccm，自動控制氣體流量，不會受環(huán)境溫度和壓力變化影響 |
| 氣源選擇 | 根據(jù)需求氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源選擇 |
| 真空保證 | 真空計和電磁閥安全互鎖 |
| 操控方式 | 7 寸全彩觸摸屏控制，中英文互動操作界面 |
| 電源?/ 功率 | AC220V，50/60Hz，300W |
| 可選配件 | 可選氧氣、氮氣、氫氣發(fā)生器，???氫氣純度﹥?99.999％，輸出流量?0-500SCCM |
| 質(zhì)量保證 | 二年質(zhì)保，終身維護 |
| 產(chǎn)品尺寸 | L320xW385xH465mm |
| 包裝尺寸 | L440xW535xH725mm |
| 整機重量 | 25 |
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