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硬件
潔凈室相容性:10級(jí)
箱體清潔度：1級(jí)
晶圓尺寸：最大200mm
容量：每批最多可容納50個(gè)8英寸晶圓（兩個(gè)25個(gè)晶圓盒）
工作溫度：環(huán)境溫度450°C
氮?dú)饬髁浚? SCFM
耗氮量：15-25升/分鐘。
內(nèi)腔尺寸：36.62厘米（內(nèi)徑）x 66.52厘米（深）—（14.42“ x 26.19”）
腔室處理面積：23.95厘米（寬）x45.97厘米（深）x24.69厘米（高）—（9.43“ x
18.10”x 9.72“）
系統(tǒng)整體尺寸：68.96厘米（寬）x145.92厘米（深）x 77.87厘米（高）—（27.15“
x 57.45”x 30.64“）
控制臺(tái)尺寸：59.44厘米（寬）x 96.01厘米（深）x 23.62厘米（高）—（23.4“ x
37.8”x 9.3“）
箱體材質(zhì)：316L不銹鋼
工藝氣體輸入：1個(gè)標(biāo)準(zhǔn)，最多3個(gè)可選
質(zhì)量流量控制器：可選–最多3個(gè)用于氣體混合
層流過(guò)濾器：100微米Mott?板式過(guò)濾器
清潔度：減少大多數(shù)應(yīng)用中的顆粒
軟件
配方數(shù)：8種溫度曲線
每個(gè)配方的步數(shù)：16個(gè)程序步
分段時(shí)間范圍：0-99小時(shí)
定時(shí)器設(shè)定分辨率：1分鐘
性能
溫度均勻性：所有溫度點(diǎn)穩(wěn)定15分鐘后，在保壓期間保持±5°C
平均升溫速度（150°C-450°C）：5°C / min。 空箱負(fù)荷
平均冷卻速度（450°C-150°C）：4°C / min。 空箱負(fù)荷
氧氣濃度：本底超過(guò)10 ppm
配件
電源要求：208V，40 A，50/60 Hz，3相
重量（約）：575磅（261公斤）